工信部推广国产氟化氩光刻机：分辨率≤65nm
据微信公众号“工信微报”消息，工信广国光刻近日，部推辨率工信部发布了《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》。产氟商洛市某某自动化科技有限公司 “工信微报”介绍道，化氩重大技术装备是机分国之重器，事关综合国力和国家安全。工信广国光刻中国首台（套）重大技术装备是部推辨率指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、产氟尚未取得明显市场业绩的化氩商洛市某某自动化科技有限公司装备产品，包括整机设备、机分核心系统和关键零部件等。工信广国光刻 而观察者网注意到，部推辨率在《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》电子专用装备目录下，产氟集成电路设备方面：氟化氩光刻机，化氩光源193纳米，机分分辨率≤65nm，套刻≤8nm。 工信部网站
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